真空系統(tǒng)氣體過濾器丨工業(yè)氣體過濾器OEM制造商

KF 系列真空系統(tǒng)氣體過濾器，是專為真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)的高效過濾設(shè)備，具備易于安裝的特性，能有效實(shí)現(xiàn)清潔、快速且低湍流的回填過程，助力提升產(chǎn)品產(chǎn)量與設(shè)備吞吐量。在規(guī)范安裝及操作條件下，可確保產(chǎn)品完整性達(dá) 3.000.000 次循環(huán)，為真空系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行提供長期可靠保障。其核心適配場景包括半導(dǎo)體設(shè)備接口(如 CVD、PVD、Etch、Epi)及各類真空室(裝載鎖、傳輸、冷卻、工藝腔體)的通風(fēng)，尤其適合短時(shí)間內(nèi)傳遞大量氣體流的工況，同時(shí)也可用于真空腔體快速放氣、真空泵配套及潔凈空氣環(huán)境內(nèi)相關(guān)需求。?

產(chǎn)品特點(diǎn)

●?減少工藝腔體排氣時(shí)的湍流

●?適用于多種工藝氣體

●?潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝

●?適合短時(shí)間內(nèi)傳遞大量氣體流的場合

●?100% 完整性測試通過

●?不銹鋼多孔燒結(jié)濾片:采用高精度不銹鋼燒結(jié)濾芯，提供高效氣體過濾，確保真空系統(tǒng)中的氣體純凈

●?耐高溫、耐腐蝕:適應(yīng)高溫、腐蝕性環(huán)境，滿足真空系統(tǒng)對濾芯材料的要求

●?高過濾精度:能夠過濾納米/微米級(jí)別的顆粒物，保證系統(tǒng)穩(wěn)定

應(yīng)用領(lǐng)域

1、真空系統(tǒng)領(lǐng)域：廣泛應(yīng)用于真空泵系統(tǒng)、真空爐、真空鍍膜設(shè)備、真空干燥設(shè)備、真空蒸發(fā)設(shè)備等，為各類真空設(shè)備提供核心過濾支持，維護(hù)設(shè)備性能。?

2、實(shí)驗(yàn)室設(shè)備領(lǐng)域：適配真空過濾、真空干燥、真空蒸發(fā)等實(shí)驗(yàn)設(shè)備，滿足實(shí)驗(yàn)室對高效過濾與真空保持的高精度需求，保障實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性。?

3、半導(dǎo)體制造領(lǐng)域：用于半導(dǎo)體真空加工和薄膜沉積過程中，通過高潔凈、高精度過濾，確保氣體潔凈度，避免雜質(zhì)影響半導(dǎo)體產(chǎn)品質(zhì)量，助力半導(dǎo)體制造工藝穩(wěn)定推進(jìn)。

技術(shù)參數(shù)

常見問答：

?

1. 該過濾器能兼容哪些類型的工藝氣體?是否需要針對不同氣體更換過濾器??

過濾器具備廣泛的工藝氣體兼容性，可適配多種常見工藝氣體(如惰性氣體、反應(yīng)性氣體等)，無需針對不同氣體單獨(dú)更換過濾器，能有效降低設(shè)備適配復(fù)雜度，為用戶節(jié)省更換成本與時(shí)間，特別適合需要處理多類氣體的真空系統(tǒng)制造商、氣體供應(yīng)商。?

?

2. 過濾器的安裝難度如何?是否需要專業(yè)人員或特殊工具??

過濾器采用適配真空系統(tǒng)常規(guī)接口的設(shè)計(jì)，安裝流程簡單，無需專業(yè)人員或特殊工具，用戶可按照安裝手冊快速完成組裝，能大幅減少現(xiàn)場安裝時(shí)間與人工成本，尤其適合科研機(jī)構(gòu)、真空系統(tǒng)制造商的快速設(shè)備組裝需求。?

?

3. 如何判斷過濾器需要更換?更換時(shí)是否會(huì)影響真空系統(tǒng)的正常運(yùn)行??

可通過兩個(gè)維度判斷更換時(shí)機(jī)：① 觀察真空系統(tǒng)壓力穩(wěn)定性，若出現(xiàn)壓力異常波動(dòng)且排除其他故障，可能是濾芯堵塞;② 檢測氣體純度，若微米級(jí)顆粒物超標(biāo)，需更換濾芯。更換過程簡單快速，且可提前準(zhǔn)備備用過濾器，短暫停機(jī)即可完成更換，對真空系統(tǒng)整體運(yùn)行影響極小，保障生產(chǎn)或?qū)嶒?yàn)連續(xù)性。?

?

4. 對于半導(dǎo)體制造中的 CVD、PVD 等工藝，過濾器能否滿足其高潔凈度要求??

完全可以。該過濾器在潔凈室環(huán)境內(nèi)完成全流程生產(chǎn)，且采用微米級(jí)精度的不銹鋼燒結(jié)濾片，100% 通過完整性測試，能徹底過濾氣體中的雜質(zhì)，同時(shí)具備耐高溫、耐腐蝕特性，可穩(wěn)定適配 CVD、PVD、Etch、Epi 等半導(dǎo)體工藝，保障薄膜沉積等過程的高潔凈度需求。?

?

5. 過濾器在真空爐等高溫環(huán)境下的使用溫度范圍是多少??

過濾器的不銹鋼濾芯與密封結(jié)構(gòu)均經(jīng)過高溫耐受性設(shè)計(jì)，常規(guī)可適應(yīng) - 20℃至 400℃的溫度范圍(具體可根據(jù)用戶高溫場景需求定制耐高溫版本)，能穩(wěn)定應(yīng)對真空爐等高溫設(shè)備的運(yùn)行環(huán)境，且不會(huì)因高溫出現(xiàn)過濾性能下降或密封失效問題。?

?

6. 定制過濾器需要提供哪些參數(shù)?定制周期大概多久??

定制時(shí)需提供以下核心參數(shù)：① 適配設(shè)備型號(hào)、接口尺寸;② 所需處理的氣體類型、流量;③ 運(yùn)行環(huán)境溫度、腐蝕性等級(jí);④ 特殊性能要求(如更高過濾精度、耐高溫等)。常規(guī)定制周期為 7-15 個(gè)工作日，具體可根據(jù)定制復(fù)雜度調(diào)整，能快速響應(yīng)真空系統(tǒng)制造商、科研機(jī)構(gòu)的個(gè)性化需求。?

?

7. 過濾器的密封性如何保障?安裝后若出現(xiàn)漏氣問題該如何處理??

過濾器采用特殊密封結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，出廠前會(huì)經(jīng)過嚴(yán)格的密封性測試，確保符合真空系統(tǒng)密封標(biāo)準(zhǔn);若安裝后出現(xiàn)漏氣，可先檢查接口安裝是否到位(如卡環(huán)是否鎖緊)，若問題仍未解決，可聯(lián)系售后團(tuán)隊(duì)，我們會(huì)提供專業(yè)技術(shù)指導(dǎo)，必要時(shí)可提供上門檢修服務(wù)，保障系統(tǒng)密封性。?

?

8. 該過濾器能否用于實(shí)驗(yàn)室的小型真空設(shè)備?與工業(yè)級(jí)設(shè)備的適配是否有差異??

過濾器兼具工業(yè)級(jí)與實(shí)驗(yàn)室級(jí)設(shè)備的適配性，針對實(shí)驗(yàn)室小型真空設(shè)備(如小型真空過濾、干燥設(shè)備)，可提供小尺寸定制版本，安裝接口與過濾性能均能精準(zhǔn)匹配;與工業(yè)級(jí)設(shè)備的適配差異主要體現(xiàn)在尺寸與流量參數(shù)上，核心的過濾精度、密封性、耐候性等性能標(biāo)準(zhǔn)完全一致，能滿足科研機(jī)構(gòu)的實(shí)驗(yàn)需求。

?

無論您想了解具體適配場景、定制參數(shù)細(xì)節(jié)，還是需要技術(shù)團(tuán)隊(duì)協(xié)助評估工藝需求，都可隨時(shí)通過官網(wǎng)留言、客服熱線或企業(yè)微信聯(lián)系我們。專業(yè)顧問將 1 對 1 為您解答疑問，提供適配方案，助力您的半導(dǎo)體工藝更穩(wěn)定、更高效!