當我們談到氣體過濾時，大多數(shù)人首先會聯(lián)想到半導(dǎo)體。然而，在 光伏、顯示面板和新能源鋰電 領(lǐng)域，對氣體純度和顆粒控制的要求同樣苛刻。國際能源署(IEA)數(shù)據(jù)顯示，全球光伏發(fā)電裝機容量將在 2030 年突破 5000 GW;而新能源汽車對鋰電池的需求持續(xù)增長，帶動了對高純氣體的大量使用。

這些行業(yè)雖不及 2 nm 芯片工藝那么精細，但在大面積沉積、封裝、電解質(zhì)處理過程中，顆粒污染依舊是良率的最大威脅。超高純氣體過濾器因此成為光伏、顯示和新能源產(chǎn)業(yè)中不可或缺的隱形保障。

一、光伏產(chǎn)業(yè)的過濾挑戰(zhàn)

1. 大面積沉積的均勻性

在光伏電池生產(chǎn)中，CVD、PECVD 工藝需要大面積均勻沉積薄膜。任何顆粒污染都會造成薄膜針孔，降低光電轉(zhuǎn)換效率。

2. 高流量供氣需求

單條產(chǎn)線動輒數(shù)千 slpm 的氮氣、氬氣需求，對過濾器的壓降和流量能力提出極高要求。

3. 成本與產(chǎn)能壓力

光伏行業(yè)競爭激烈，過濾器必須在保證潔凈度的同時，兼顧低運維成本和長壽命。

解決方案：

恒歌 OF 系列在線式過濾器：大流量、低壓降設(shè)計，適合光伏沉積工藝;

恒歌 DF 系列擴散器過濾器：改善氣體分布，提高膜層均勻性。

二、顯示面板產(chǎn)業(yè)的過濾挑戰(zhàn)

1. IGS 面板系統(tǒng)復(fù)雜

大尺寸 OLED、LCD 面板生產(chǎn)中，氣體分配系統(tǒng)(IGS)包含數(shù)百個閥門與接口，顆粒來源復(fù)雜。

2. 高潔凈度需求

顯示缺陷(點亮異常、暗斑)往往與氣體顆粒直接相關(guān)。國際標準要求潔凈度達到 ISO Class 1 水平。

3. 工藝兼容性

既需要 0.003 μm 的過濾能力，又要兼容多種密封標準(C/W 型)。

解決方案：

恒歌 SF 系列面板過濾器：專為 IGS 系統(tǒng)設(shè)計，支持多種密封，適合面板應(yīng)用;

恒歌 MF 系列保護過濾器：保障閥門與質(zhì)量流量控制器(MFC)的壽命。

三、新能源鋰電產(chǎn)業(yè)的過濾挑戰(zhàn)

1. 電解液與氣氛純度

鋰電池生產(chǎn)中，電解液敏感且易受雜質(zhì)影響，氮氣保護必須達到高純度。顆粒污染會導(dǎo)致電池內(nèi)部缺陷，縮短壽命。

2. 高壓氫氣與特種氣體應(yīng)用

在新型電池和儲能材料開發(fā)中，涉及氫氣、氟化物等高活性氣體，對過濾器的抗腐蝕與耐高壓能力要求極高。

3. 安全與可靠性

鋰電工廠強調(diào)安全生產(chǎn)，過濾器必須具備長期穩(wěn)定運行能力，避免頻繁更換。

解決方案：

恒歌 HF 系列高壓過濾器：耐壓 ≥20 MPa，適合氫能和高壓工況;

恒歌 BF 系列大宗氣體過濾器：確保氮氣源頭潔凈，減少電解液污染。

四、分級過濾在跨行業(yè)的應(yīng)用邏輯

無論是光伏、顯示還是新能源鋰電，氣體過濾的基本邏輯與半導(dǎo)體類似：

1. 氣源端(BF 系列)：攔截鋼瓶與氣柜帶入的顆粒;

2. 面板端(SF 系列)：防止閥門與密封磨損顆粒進入主管路;

3. 大流量環(huán)節(jié)(OF 系列)：在高流量下保持低壓降;

4. 終端保護(MF 系列)：保障儀器與閥門;

5. 工藝入口(DF 系列)：改善分布與均勻性;

6. 高壓應(yīng)用(HF 系列)：滿足氫能與特種氣體需求。

這種 分級防護體系，不僅滿足 ISO 與 SEMI 標準，也適用于新能源和光電產(chǎn)業(yè)的潔凈要求。

五、成本與效益分析

光伏：大面積薄膜沉積，缺陷率每下降 0.1%，可提升數(shù)百萬片組件的良率;

顯示：一條 8.5 代液晶面板產(chǎn)線，停機 1 小時損失超百萬元;

新能源：鋰電池良率提升 1%，意味著年產(chǎn)能數(shù) GWh 的工廠增加數(shù)千萬元收益。

過濾器雖小，卻直接決定了產(chǎn)線的產(chǎn)能與良率。采用恒歌金屬燒結(jié)系列過濾器，可將 TCO(總擁有成本)降低 20%–30%。

六、未來趨勢

1. 更高精度：光伏與顯示產(chǎn)業(yè)也將逐步過渡至 0.003 μm 甚至更高過濾水平;

2. 更低壓降：滿足更大流量沉積需求;

3. 更強兼容性：多種氣體、多種工藝并行使用;

4. 智能化：通過傳感器實現(xiàn)壽命預(yù)測與壓差監(jiān)測。

恒歌已在 全金屬燒結(jié)技術(shù)、全系列覆蓋 上為未來擴展做好準備。

氣體過濾器不僅是半導(dǎo)體行業(yè)的核心需求，在 光伏、顯示面板和新能源鋰電 產(chǎn)業(yè)中同樣至關(guān)重要。它決定了薄膜均勻性、電池壽命與系統(tǒng)安全性。

恒歌通過 BF、SF、OF、MF、DF、HF 系列的氣體過濾器，為跨行業(yè)提供 從源頭到終端 的完整氣體過濾解決方案。面對光伏、顯示和新能源對大流量、高壓、超高純的需求，恒歌金屬燒結(jié)過濾器正逐漸成為行業(yè)主流選擇。

在產(chǎn)業(yè)規(guī)模化和成本壓力日益增大的背景下，過濾器雖小，卻是保障競爭力的關(guān)鍵。